材料的相容性是一個(gè)主要關(guān)注測(cè)量腐蝕性強(qiáng)的流體流動(dòng)時(shí)，如酸。有幾種選擇，以保證濕材料在儀器儀表中的相處的過(guò)程流體。一些選項(xiàng)包括：高合金或異國(guó)情調(diào)的金屬，應(yīng)用化學(xué)防腐襯里的濕流路，甚至使用了完全的抗化學(xué)腐蝕的塑料工具。除了工具，提供了一種方法來(lái)測(cè)量流量，儀器提供的控制功能（如閥）也應(yīng)適當(dāng)考慮指定材料的相容性。
一個(gè)次要的考慮因素，有時(shí)會(huì)忽視當(dāng)指定儀器的腐蝕性液體是項(xiàng)目–失效模式的一個(gè)積極的流體泄漏會(huì)對(duì)人員和設(shè)備造成重大的安全風(fēng)險(xiǎn)。了解濕流程構(gòu)建，以及如何處理液內(nèi)含有的流程是這樣的考慮關(guān)鍵部件。每一個(gè)線程的組件或O形圈密封的流動(dòng)路徑是一個(gè)薄弱環(huán)節(jié)，增加了一個(gè)積極的流體泄漏的風(fēng)險(xiǎn)，減小儀器安裝的生活。
工作時(shí)像泥漿磨蝕性流體，流動(dòng)的效應(yīng)稱為集聚可以克服一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。由于泥漿是由固體微粒懸浮在液體中的固體顆粒，團(tuán)聚時(shí)存款或“叢”在一些點(diǎn)在流動(dòng)路徑。在拋光像化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）沉積過(guò)程，在實(shí)際的部分擦拭直接降低拋光工藝收率。類似的存款通常發(fā)生在一對(duì)其他點(diǎn)的流動(dòng)路徑，可以產(chǎn)生過(guò)程中的停機(jī)時(shí)間，如：管道彎頭或其他部分的流動(dòng)路徑的流動(dòng)方向的變化（包括方向的變化在儀表）或磁浮球液位計(jì)的運(yùn)動(dòng)部件。在一個(gè)系統(tǒng)中，將控制磨料流動(dòng)減少這2種情況的發(fā)生是一個(gè)堅(jiān)實(shí)的設(shè)計(jì)策略。
蠕動(dòng)泵是一種常見的攻擊性和研磨性流體的流量控制方法。這些泵提供了一個(gè)廣泛的流量控制范圍，設(shè)計(jì)可以^大限度地減少團(tuán)聚，也可以是由一系列積極的液體兼容的材料。用這種方法控制流量為OEM和其他一些系統(tǒng)設(shè)計(jì)者主要關(guān)心的是這些泵的高初始成本。幸運(yùn)的是，有可供用戶其他配置選項(xiàng)。
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